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1、玻義爾定律:體積V，壓強P，P·V＝常數 一定質量的氣體，當溫度不變時，氣體的壓強與氣體的體積成反比。即P1/P2＝V2/V1 |
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2、蓋·呂薩克定律: 當壓強P不變時，一定質量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比 V1/V2＝T1/T2＝常數 當壓強不變時，一定質量的氣體，溫度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增加 (或縮小)1/273。 |
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3、抽速：S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P Q＝流量(托·升/秒) P＝壓強(托) V＝體積(升) t＝時間(秒) |
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4、平均自由程：λ＝(5×10-3)/P (cm) |
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5、通導：C＝Q/(P2-P1) (升/秒) |
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6、查理定律： 當氣體的體積V保持不變，一定質量的氣體，壓強P與其絕對溫度T成正比， 即：P1/P2＝T1/T2 在一定的體積下，一定質量的氣體，溫度每升高(或降低)1℃，它的壓強比原來增加(或減少)1/273 |
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7、維持泵選擇：S維＝S前/10 |
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8、漏率：Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1) Q漏－系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s) V－系統(tǒng)容積(l) P1－真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(mmHg) P2－真空室經過時間t后達到的壓強(mmHg) t－壓強從P1升到P2經過的時間(s) |
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9、擴散泵抽速估算：S＝3D2 (D＝直徑cm） |
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10、前級泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、 渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵 必須能將主泵的最大氣體量排走，根據管路中，各截面流量恒等的原則有： PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn Sg－前級泵的有效抽速(l/s), Pn－主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s) Pg－真空室最高工作壓強(托), S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s) |
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11、真空抽氣時間：對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式： t＝8V/S (經驗公式)V為體積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內選擇。 |
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12、羅茨泵的前級抽速：S＝(0.1~0.2)S羅 (l/s) |
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13、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s) 式中：Z為旋片數，n為轉速(轉/分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(一般取95％)。 |
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