羅茨真空泵是一種容積式真空泵，一對8字型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)以相反的方向同步旋轉(zhuǎn)而完成吸氣排氣的。在工作過程中，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵體之間始終保持一定的間隙，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間的間隙由一對同步齒輪調(diào)節(jié)，轉(zhuǎn)子與端面間隙靠固定端的軸承調(diào)節(jié)，另一軸承自由游動。 羅茨真空泵最大的特點(diǎn)是在較低的入口壓力下具有較大的抽氣速率，但其排氣口與進(jìn)氣口的壓力差卻不能太大（大泵壓差約4000Pa，小泵壓差約5000Pa），所以不能單獨(dú)使用，需配置前級泵進(jìn)行預(yù)抽，當(dāng)入口壓力達(dá)到一定數(shù)值時（-0.092MPa以上）方能啟動。 羅茨真空泵抽氣腔內(nèi)無任何輔助液體，對工藝氣體不產(chǎn)生污染。真空泵抽氣腔兩端的軸承及齒輪需要油潤滑，但油腔與抽氣腔間有軸封隔開。 氣體在羅茨真空泵內(nèi)雖然不產(chǎn)生內(nèi)壓縮，但在排氣時會發(fā)生外壓縮，壓縮熱會使轉(zhuǎn)子、泵體及真空油溫度升高，所以除個別小抽氣量羅茨泵無水冷外，均在油腔內(nèi)加有水冷裝置